 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2803 | 回復(fù): 6 | |||
小蟲蟲2012金蟲 (小有名氣)
|
[求助]
直流磁控濺射電壓變大
|
| 直流磁控濺射的錳氧化物靶材，靶材導(dǎo)電性能不好，但是直流可以起輝，而且還很穩(wěn)定，但是隔了一個月，重新安裝了一次靶材之后，再次濺射的時候電壓比之前高了一百伏特左右，應(yīng)該不是表面氧化的原因，因為現(xiàn)在起輝也挺穩(wěn)定，現(xiàn)在考慮是不是直流源的問題，求問達(dá)人們直流源該怎么檢查呢？？？ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 磁控濺射靶材資料大全 |
» 猜你喜歡
求助
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
0805材料320求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
297求調(diào)劑
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
268求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
一志愿西安交通大學(xué)材料工程專業(yè) 282分求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
278求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
26考研一志愿中國石油大學(xué)(華東)305分求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
280求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
279求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
286求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 磁控濺射電源問題
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 對靶直流磁控濺射制備ZAO膜打火嚴(yán)重
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 磁控濺射反偏電壓
已經(jīng)有2人回復(fù)
- 磁控濺射鍍不上去膜！！
已經(jīng)有14人回復(fù)
- 磁控濺射鍍鎳，出現(xiàn)起輝兩分鐘后，自動電壓、電流跳零，這是為什么？
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
已經(jīng)有25人回復(fù)
- 磁控濺射換靶材之后功率變化很大？
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 磁控濺射 射頻電源 不能起輝（謝謝）
已經(jīng)有20人回復(fù)
- 新手求助各位大師關(guān)于磁控濺射NiMn靶的問題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 求助：磁控濺射制備ZnOS薄膜，重復(fù)不出來
已經(jīng)有18人回復(fù)
- 直流磁控濺射與射頻磁控濺射鍍銀
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 直流磁控濺射 濺射無法起弧 靶材刻蝕嚴(yán)重
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 請教一下做磁控濺射鍍膜的時候，氬氣，氧氣，氮氣電離得時候分別是什么顏色？
已經(jīng)有22人回復(fù)
- 直流磁控濺射鍍膜總是被氧化
已經(jīng)有42人回復(fù)
- 電子束蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜所得薄膜有什么區(qū)別？
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 做磁控濺射的朋友請進(jìn)
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 【求助】射頻磁控濺射的靶材一般能用幾次？或者多久？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 【請教】請教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問題
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 【求助】直流磁控濺射AlN薄膜的工藝條件，比如氮氣流量、比例，鍍膜氣壓？？靶電壓？
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 【求助】請教磁控濺射金屬膜問題
已經(jīng)有23人回復(fù)
- 【求助】求助：磁控濺射問題
已經(jīng)有20人回復(fù)
小蟲蟲2012
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在線: 176.1小時
- 蟲號: 2114007
- 注冊: 2012-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
2樓2013-10-31 16:02:42
wlj0311
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 190
- 帖子: 7
- 在線: 20小時
- 蟲號: 2736041
- 注冊: 2013-10-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
3樓2013-10-31 16:23:01
小蟲蟲2012
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在線: 176.1小時
- 蟲號: 2114007
- 注冊: 2012-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2013-10-31 17:11:43
materialian
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 29.1
- 帖子: 6
- 在線: 1.5小時
- 蟲號: 2765648
- 注冊: 2013-10-30
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2013-11-01 00:58:29
leongoall
專家顧問 (知名作家)
P-M-I之初生牛犢
- 應(yīng)助: 144 (高中生)
- 貴賓: 0.055
- 金幣: 7602.7
- 散金: 627
- 紅花: 35
- 沙發(fā): 3
- 帖子: 5347
- 在線: 1063小時
- 蟲號: 490263
- 注冊: 2008-01-03
- 性別: GG
- 專業(yè): 等離子體物理
- 管轄: 物理
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
小蟲蟲2012: 金幣+1, ★有幫助, 功率相同的情況下比較的，就是電壓變大，電流變小，你說的1,2.4三點我都已經(jīng)說明了，不存在這個問題，至于第三點，由于是相同的靶材連續(xù)兩次的濺射，所以也不成立，還是謝謝參與 2013-11-01 08:33:24
華麗的飄過: 金幣+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
小蟲蟲2012: 金幣+1, ★有幫助, 功率相同的情況下比較的，就是電壓變大，電流變小，你說的1,2.4三點我都已經(jīng)說明了，不存在這個問題，至于第三點，由于是相同的靶材連續(xù)兩次的濺射，所以也不成立，還是謝謝參與 2013-11-01 08:33:24
華麗的飄過: 金幣+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
|
樓主說的電壓升高一百伏左右是指用同樣的直流電源功率下得到的么？ 個人覺得首先導(dǎo)電性不好的靶材最好不要用直流，浪費太多在加熱靶材上，而不是濺射，同時也會產(chǎn)生靶中毒現(xiàn)象！言歸正傳，樓主需要檢查以下幾個設(shè)置： 1. 工作氣體及氣壓是否與之前相同。 2. 裝靶的時候陽極靶罩和陰極之間的間距是否合適 3. 靶材本身是否因為已經(jīng)被濺射太多，造成上述第二點 4. 電源本身的輸出功率是否變化 |
6樓2013-11-01 03:58:21
小蟲蟲2012
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在線: 176.1小時
- 蟲號: 2114007
- 注冊: 2012-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
7樓2013-11-28 09:44:56
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 小蟲蟲2012 的主題更新
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 330求調(diào)劑0854 +3 | assdll 2026-03-21 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 材料 271求調(diào)劑 +3 | 展信悅_ 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 南昌大學(xué)材料專碩311分求調(diào)劑 +6 | 77chaselx 2026-03-20 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 307求調(diào)劑 +3 | wyyyqx 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 22408 344分 求調(diào)劑 一志愿 華電計算機技術(shù) +4 | solanXXX 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 324求調(diào)劑 +5 | lucky呀呀呀鴨 2026-03-20 | 5/250 |
|
|
[考研] 085600材料與化工 +8 | 安全上岸！ 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 本人考085602 化學(xué)工程 專碩 +19 | 不知道叫什么！ 2026-03-15 | 21/1050 |
|
|
|
[考研] 一志愿西安交通大學(xué) 學(xué)碩 354求調(diào)劑211或者雙一流 +3 | 我想要讀研究生 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 086500 325 求調(diào)劑 +3 | 領(lǐng)帶小熊 2026-03-19 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 312求調(diào)劑 +8 | 陌宸希 2026-03-16 | 9/450 |
|
|
|
[考研]
 0854，計算機類招收調(diào)劑
+3
|
胡辣湯放糖 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 283求調(diào)劑 +3 | 聽風(fēng)就是雨； 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 機械專碩325，尋找調(diào)劑院校 +3 | y9999 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +4 | 諾貝爾化學(xué)獎覬?/a> 2026-03-15 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 070303 總分349求調(diào)劑 +3 | LJY9966 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +3 | mlpqaz03 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 070305求調(diào)劑 +3 | mlpqaz03 2026-03-14 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085601材料工程315分求調(diào)劑 +3 | yang_0104 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 288求調(diào)劑 +4 | 奇點0314 2026-03-14 | 4/200 |
|