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小蟲蟲2012金蟲 (小有名氣)
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[求助]
直流磁控濺射電壓變大
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| 直流磁控濺射的錳氧化物靶材，靶材導(dǎo)電性能不好，但是直流可以起輝，而且還很穩(wěn)定，但是隔了一個月，重新安裝了一次靶材之后，再次濺射的時候電壓比之前高了一百伏特左右，應(yīng)該不是表面氧化的原因，因為現(xiàn)在起輝也挺穩(wěn)定，現(xiàn)在考慮是不是直流源的問題，求問達(dá)人們直流源該怎么檢查呢？？？ |
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 磁控濺射靶材資料大全 |
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小蟲蟲2012
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
小蟲蟲2012: 金幣+1, ★有幫助, 功率相同的情況下比較的，就是電壓變大，電流變小，你說的1,2.4三點我都已經(jīng)說明了，不存在這個問題，至于第三點，由于是相同的靶材連續(xù)兩次的濺射，所以也不成立，還是謝謝參與 2013-11-01 08:33:24
華麗的飄過: 金幣+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
小蟲蟲2012: 金幣+1, ★有幫助, 功率相同的情況下比較的，就是電壓變大，電流變小，你說的1,2.4三點我都已經(jīng)說明了，不存在這個問題，至于第三點，由于是相同的靶材連續(xù)兩次的濺射，所以也不成立，還是謝謝參與 2013-11-01 08:33:24
華麗的飄過: 金幣+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
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樓主說的電壓升高一百伏左右是指用同樣的直流電源功率下得到的么？ 個人覺得首先導(dǎo)電性不好的靶材最好不要用直流，浪費太多在加熱靶材上，而不是濺射，同時也會產(chǎn)生靶中毒現(xiàn)象！言歸正傳，樓主需要檢查以下幾個設(shè)置： 1. 工作氣體及氣壓是否與之前相同。 2. 裝靶的時候陽極靶罩和陰極之間的間距是否合適 3. 靶材本身是否因為已經(jīng)被濺射太多，造成上述第二點 4. 電源本身的輸出功率是否變化 |
6樓2013-11-01 03:58:21
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