 |
 |
 |
| 24小時(shí)熱門版塊排行榜 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2804 | 回復(fù): 6 | |||
小蟲蟲2012金蟲 (小有名氣)
|
[求助]
直流磁控濺射電壓變大
|
| 直流磁控濺射的錳氧化物靶材，靶材導(dǎo)電性能不好，但是直流可以起輝，而且還很穩(wěn)定，但是隔了一個(gè)月，重新安裝了一次靶材之后，再次濺射的時(shí)候電壓比之前高了一百伏特左右，應(yīng)該不是表面氧化的原因，因?yàn)楝F(xiàn)在起輝也挺穩(wěn)定，現(xiàn)在考慮是不是直流源的問題，求問達(dá)人們直流源該怎么檢查呢？？？ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 磁控濺射靶材資料大全 |
» 猜你喜歡
本人考085602 化學(xué)工程 專碩
已經(jīng)有23人回復(fù)
-
311求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
求調(diào)劑院校信息
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
085600材料與化工306
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
286求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
328求調(diào)劑，英語六級(jí)551，有科研經(jīng)歷
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
一志愿北京化工大學(xué)070300 學(xué)碩336求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
286分人工智能專業(yè)請(qǐng)求調(diào)劑愿意跨考！
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
資源與環(huán)境 調(diào)劑申請(qǐng)(333分)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
280求調(diào)劑
已經(jīng)有12人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 磁控濺射電源問題
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 對(duì)靶直流磁控濺射制備ZAO膜打火嚴(yán)重
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 磁控濺射反偏電壓
已經(jīng)有2人回復(fù)
- 磁控濺射鍍不上去膜�。�
已經(jīng)有14人回復(fù)
- 磁控濺射鍍鎳，出現(xiàn)起輝兩分鐘后，自動(dòng)電壓、電流跳零，這是為什么？
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
已經(jīng)有25人回復(fù)
- 磁控濺射換靶材之后功率變化很大？
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 磁控濺射 射頻電源 不能起輝（謝謝）
已經(jīng)有20人回復(fù)
- 新手求助各位大師關(guān)于磁控濺射NiMn靶的問題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 求助：磁控濺射制備ZnOS薄膜，重復(fù)不出來
已經(jīng)有18人回復(fù)
- 直流磁控濺射與射頻磁控濺射鍍銀
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 直流磁控濺射 濺射無法起弧 靶材刻蝕嚴(yán)重
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 請(qǐng)教一下做磁控濺射鍍膜的時(shí)候，氬氣，氧氣，氮?dú)怆婋x得時(shí)候分別是什么顏色？
已經(jīng)有22人回復(fù)
- 直流磁控濺射鍍膜總是被氧化
已經(jīng)有42人回復(fù)
- 電子束蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜所得薄膜有什么區(qū)別？
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 做磁控濺射的朋友請(qǐng)進(jìn)
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 【求助】射頻磁控濺射的靶材一般能用幾次？或者多久？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 【請(qǐng)教】請(qǐng)教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問題
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 【求助】直流磁控濺射AlN薄膜的工藝條件，比如氮?dú)饬髁俊⒈壤�，鍍膜氣壓？？靶電壓�?/a>
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 【求助】請(qǐng)教磁控濺射金屬膜問題
已經(jīng)有23人回復(fù)
- 【求助】求助：磁控濺射問題
已經(jīng)有20人回復(fù)
小蟲蟲2012
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在線: 176.1小時(shí)
- 蟲號(hào): 2114007
- 注冊(cè): 2012-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
2樓2013-10-31 16:02:42
wlj0311
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 190
- 帖子: 7
- 在線: 20小時(shí)
- 蟲號(hào): 2736041
- 注冊(cè): 2013-10-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
3樓2013-10-31 16:23:01
小蟲蟲2012
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在線: 176.1小時(shí)
- 蟲號(hào): 2114007
- 注冊(cè): 2012-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2013-10-31 17:11:43
materialian
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 29.1
- 帖子: 6
- 在線: 1.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 2765648
- 注冊(cè): 2013-10-30
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2013-11-01 00:58:29
leongoall
專家顧問 (知名作家)
P-M-I之初生牛犢
- 應(yīng)助: 144 (高中生)
- 貴賓: 0.055
- 金幣: 7602.7
- 散金: 627
- 紅花: 35
- 沙發(fā): 3
- 帖子: 5347
- 在線: 1063小時(shí)
- 蟲號(hào): 490263
- 注冊(cè): 2008-01-03
- 性別: GG
- 專業(yè): 等離子體物理
- 管轄: 物理
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
小蟲蟲2012: 金幣+1, ★有幫助, 功率相同的情況下比較的，就是電壓變大，電流變小，你說的1,2.4三點(diǎn)我都已經(jīng)說明了，不存在這個(gè)問題，至于第三點(diǎn)，由于是相同的靶材連續(xù)兩次的濺射，所以也不成立，還是謝謝參與 2013-11-01 08:33:24
華麗的飄過: 金幣+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
小蟲蟲2012: 金幣+1, ★有幫助, 功率相同的情況下比較的，就是電壓變大，電流變小，你說的1,2.4三點(diǎn)我都已經(jīng)說明了，不存在這個(gè)問題，至于第三點(diǎn)，由于是相同的靶材連續(xù)兩次的濺射，所以也不成立，還是謝謝參與 2013-11-01 08:33:24
華麗的飄過: 金幣+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
|
樓主說的電壓升高一百伏左右是指用同樣的直流電源功率下得到的么？ 個(gè)人覺得首先導(dǎo)電性不好的靶材最好不要用直流，浪費(fèi)太多在加熱靶材上，而不是濺射，同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生靶中毒現(xiàn)象！言歸正傳，樓主需要檢查以下幾個(gè)設(shè)置： 1. 工作氣體及氣壓是否與之前相同。 2. 裝靶的時(shí)候陽極靶罩和陰極之間的間距是否合適 3. 靶材本身是否因?yàn)橐呀?jīng)被濺射太多，造成上述第二點(diǎn) 4. 電源本身的輸出功率是否變化 |
6樓2013-11-01 03:58:21
小蟲蟲2012
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在線: 176.1小時(shí)
- 蟲號(hào): 2114007
- 注冊(cè): 2012-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
7樓2013-11-28 09:44:56
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 小蟲蟲2012 的主題更新
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 280求調(diào)劑 +11 | 咕嚕曉曉 2026-03-18 | 12/600 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +13 | 冬十三 2026-03-15 | 14/700 |
|
|
|
[考研] 354求調(diào)劑 +6 | Tyoumou 2026-03-18 | 9/450 |
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +11 | 妮妮ninicgb 2026-03-15 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +4 | mlpqaz03 2026-03-15 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料學(xué)碩333求調(diào)劑 +3 | 北道巷 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 336求調(diào)劑 +5 | rmc8866 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿華中科技大學(xué)071000，求調(diào)劑 +3 | 沿岸有貝殼6 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 能源材料化學(xué)課題組招收碩士研究生8-10名 +5 | 脫穎而出 2026-03-16 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 310求調(diào)劑 +3 | baibai1314 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | Ma_xt 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿西南交大，求調(diào)劑 +5 | 材化逐夢(mèng)人 2026-03-18 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿中海洋材料工程專碩330分求調(diào)劑 +8 | 小材化本科 2026-03-18 | 8/400 |
|
|
|
[考研]
 295復(fù)試調(diào)劑
+8
|
簡(jiǎn)木ChuFront 2026-03-19 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 295材料求調(diào)劑，一志愿武漢理工085601專碩 +5 | Charlieyq 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 298-一志愿中國(guó)農(nóng)業(yè)大學(xué)-求調(diào)劑 +9 | 手機(jī)用戶 2026-03-17 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 328求調(diào)劑，英語六級(jí)551，有科研經(jīng)歷 +4 | 生物工程調(diào)劑 2026-03-16 | 12/600 |
|
|
|
[考研]
 0854，計(jì)算機(jī)類招收調(diào)劑
+3
|
胡辣湯放糖 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿，福州大學(xué)材料專碩339分求調(diào)劑 +3 | 木子momo青爭(zhēng) 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +5 | 大米飯！ 2026-03-15 | 5/250 |
|