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mengbin木蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射 射頻電源 不能起輝（謝謝）
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| 各位蟲(chóng)友：本人使用一臺(tái)中國(guó)科儀（沈陽(yáng)）的磁控濺射儀（JGP450型），以前利用射頻濺射氧化物薄膜時(shí)均正常，可是前一段發(fā)生了一次磁控靶和設(shè)備之間短路的問(wèn)題，現(xiàn)在短路修好了，可是射頻濺射不能起輝，但直流濺射時(shí)一切均正常�，F(xiàn)在搞不懂了，到底是哪出問(wèn)題了。我們的射頻電源是Comdel的，懷疑有問(wèn)題郵寄到北京檢測(cè)了，廠家說(shuō)沒(méi)問(wèn)題，可現(xiàn)在就是不能工作。煩請(qǐng)各位蟲(chóng)友指點(diǎn)、解惑。 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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mengbin: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-11-10 07:07:22
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| 如果沒(méi)有短路，射頻開(kāi)啟后，是否有反射功率，有沒(méi)試著增加功率？如果改過(guò)腔體或靶，不起輝應(yīng)該是匹配有問(wèn)題。設(shè)備是否是自動(dòng)匹配？手動(dòng)的話(huà)就要自己調(diào)。由于設(shè)備調(diào)整過(guò)，自動(dòng)的話(huà)有可能超出了自動(dòng)調(diào)整范圍。如果是大功率電源的話(huà)，通常在匹配器中有電感可以選擇不同的位置連接，有的也可通過(guò)調(diào)可變電容接線位來(lái)調(diào)整范圍。調(diào)整方式應(yīng)該可以在電源說(shuō)明書(shū)中找到。注改完調(diào)試或手動(dòng)匹配是，采用小功率進(jìn)行。 |
3樓2012-11-09 16:38:21
god1999
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4樓2012-11-09 18:40:18
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mengbin: 金幣+2, ★有幫助 2012-11-11 08:15:15
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mengbin: 金幣+2, ★有幫助 2012-11-11 08:15:15
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5樓2012-11-10 00:41:00
8樓2012-11-11 19:00:54
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