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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 基礎研究 » 加熱對磁控濺射輝光影響
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ydar123至尊木蟲 (職業(yè)作家)
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加熱對磁控濺射輝光影響 已有4人參與
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| 各位大俠，最近小弟使用磁控濺射設備沉積純金屬膜，在樣品臺爐溫為400度的時候輝光顏色為正常的藍色輝光，將溫度升高到525后，沉積持續(xù)一段時間后，輝光逐變?yōu)樽仙瑫r在沉底上沉積不出Ti膜，使用紫色輝光沉積結束后開艙發(fā)現(xiàn)靶材表面出現(xiàn)黃色光圈。另外一個奇怪現(xiàn)象就是在靶位對準常溫樣品臺時，無論持續(xù)多久輝光顏色都不會發(fā)生變化，本人推測原因為會不會是溫度升高使得電路絲(電爐絲使用了將近一年半)向真空艙內揮發(fā)有害物質。另外一個問題就是本人使用的時候射頻電源，發(fā)現(xiàn)不同的射頻電源在輸出相同功率的情況下射頻電源對電壓和電流有很大的不同。不知道怎么回事？ |
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cord 
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2樓2014-07-19 00:52:37
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5樓2014-07-24 13:38:42
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