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ydar123至尊木蟲 (職業(yè)作家)
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[求助]
加熱對(duì)磁控濺射輝光影響 已有4人參與
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| 各位大俠，最近小弟使用磁控濺射設(shè)備沉積純金屬膜，在樣品臺(tái)爐溫為400度的時(shí)候輝光顏色為正常的藍(lán)色輝光，將溫度升高到525后，沉積持續(xù)一段時(shí)間后，輝光逐變?yōu)樽仙�，同時(shí)在沉底上沉積不出Ti膜，使用紫色輝光沉積結(jié)束后開艙發(fā)現(xiàn)靶材表面出現(xiàn)黃色光圈。另外一個(gè)奇怪現(xiàn)象就是在靶位對(duì)準(zhǔn)常溫樣品臺(tái)時(shí)，無(wú)論持續(xù)多久輝光顏色都不會(huì)發(fā)生變化，本人推測(cè)原因?yàn)闀?huì)不會(huì)是溫度升高使得電路絲(電爐絲使用了將近一年半)向真空艙內(nèi)揮發(fā)有害物質(zhì)。另外一個(gè)問(wèn)題就是本人使用的時(shí)候射頻電源，發(fā)現(xiàn)不同的射頻電源在輸出相同功率的情況下射頻電源對(duì)電壓和電流有很大的不同。不知道怎么回事？ |
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cord 
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