 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1569 | 回復(fù): 6 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
ydar123至尊木蟲 (職業(yè)作家)
|
[求助]
加熱對(duì)磁控濺射輝光影響 已有4人參與
|
||
| 各位大俠，最近小弟使用磁控濺射設(shè)備沉積純金屬膜，在樣品臺(tái)爐溫為400度的時(shí)候輝光顏色為正常的藍(lán)色輝光，將溫度升高到525后，沉積持續(xù)一段時(shí)間后，輝光逐變?yōu)樽仙�，同時(shí)在沉底上沉積不出Ti膜，使用紫色輝光沉積結(jié)束后開艙發(fā)現(xiàn)靶材表面出現(xiàn)黃色光圈。另外一個(gè)奇怪現(xiàn)象就是在靶位對(duì)準(zhǔn)常溫樣品臺(tái)時(shí)，無(wú)論持續(xù)多久輝光顏色都不會(huì)發(fā)生變化，本人推測(cè)原因?yàn)闀?huì)不會(huì)是溫度升高使得電路絲(電爐絲使用了將近一年半)向真空艙內(nèi)揮發(fā)有害物質(zhì)。另外一個(gè)問(wèn)題就是本人使用的時(shí)候射頻電源，發(fā)現(xiàn)不同的射頻電源在輸出相同功率的情況下射頻電源對(duì)電壓和電流有很大的不同。不知道怎么回事？ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 真空鍍膜類技術(shù)資料 |
» 猜你喜歡
材料專業(yè)申博
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
307求調(diào)劑
已經(jīng)有20人回復(fù)
-
285求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
材料與化工（0856）304求B區(qū)調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
370求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
070300化學(xué)279求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
福建理工大學(xué)材料學(xué)院先進(jìn)合金團(tuán)隊(duì)招收考研調(diào)劑學(xué)生
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
英一數(shù)一408，總分284，二戰(zhàn)真誠(chéng)求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
083000環(huán)境科學(xué)與工程調(diào)劑，總分281
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 鍍膜技術(shù)-磁控濺射輝光清洗
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射底座與腔體短路了 怎么解決
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 磁控濺射設(shè)備在濺射時(shí)壓縮空氣突然停止導(dǎo)致的故障
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 直流磁控濺射電壓變大
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 磁控濺射TiN的顏色問(wèn)題
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 磁控濺射的分子泵真空抽不上去
已經(jīng)有23人回復(fù)
- 濺射金屬靶的輝光顏色問(wèn)題
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射電源問(wèn)題
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 磁控濺射時(shí)，氬氣流速不同有什么影響？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射靶面以外的地方有輝光正常嗎
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
已經(jīng)有25人回復(fù)
- [求助]磁控濺射制備SiN，用的是射頻電源，有輝光，但濺射不上
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 請(qǐng)教磁控濺射的氣壓和功率對(duì)薄膜質(zhì)量的作用，謝謝！
已經(jīng)有20人回復(fù)
- 求助關(guān)于磁控濺射清洗方面的問(wèn)題~~~急急急
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 磁控濺射能起輝，但不能沉積
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 求助關(guān)于磁控濺射的問(wèn)題
已經(jīng)有29人回復(fù)
- 是否可以在基底上用磁控濺射Cu、Zn、Al然后加熱得到晶化的合金結(jié)構(gòu)？
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 【請(qǐng)教】請(qǐng)教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問(wèn)題
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于磁控濺射SiO2的問(wèn)題
已經(jīng)有14人回復(fù)
cord 
鐵桿木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 186 (高中生)
- 金幣: 8374.9
- 散金: 206
- 紅花: 16
- 帖子: 1745
- 在線: 206.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 514399
- 注冊(cè): 2008-02-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
4樓2014-07-22 20:20:51
cord
鐵桿木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 186 (高中生)
- 金幣: 8374.9
- 散金: 206
- 紅花: 16
- 帖子: 1745
- 在線: 206.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 514399
- 注冊(cè): 2008-02-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
2樓2014-07-19 00:52:37
ydar123
至尊木蟲 (職業(yè)作家)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 21202.4
- 散金: 34
- 紅花: 2
- 帖子: 3889
- 在線: 291.3小時(shí)
- 蟲號(hào): 477336
- 注冊(cè): 2007-12-13
- 專業(yè): 化學(xué)工程及工業(yè)化學(xué)
3樓2014-07-22 09:05:35
fuyadong01
禁蟲 (小有名氣)
★ ★ ★
ydar123(ivansdk代發(fā)): 金幣+3 2014-10-18 08:09:47
ydar123(ivansdk代發(fā)): 金幣+3 2014-10-18 08:09:47
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
5樓2014-07-24 13:38:42
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿食品科學(xué)與工程083200求調(diào)劑 +3 | XQTJZ 2026-03-30 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +5 | 亞克西good 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 359求調(diào)劑 +5 | 王了個(gè)楠 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
[考研] 085600，專業(yè)課化工原理，320分求調(diào)劑 +5 | 大饞小子 2026-03-29 | 5/250 |
|
|
|
[基金申請(qǐng)] 面上5B能上會(huì)嗎？ +7 | redcom 2026-03-29 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿中南大學(xué)化學(xué)0703總分337求調(diào)劑 +6 | niko- 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 337求調(diào)劑 +6 | 《樹》 2026-03-29 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 085600，材料與化工321分求調(diào)劑 +10 | 大饞小子 2026-03-28 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 294分080500材料科學(xué)與工程求調(diào)劑 +8 | 柳溪邊 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 356求調(diào)劑 +3 | gysy?s?a 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 本科新能源科學(xué)與工程，一志愿華理能動(dòng)285求調(diào)劑 +7 | AZMK 2026-03-28 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 311（085601）求調(diào)劑 +4 | liziyeyeye 2026-03-28 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 壓國(guó)家一區(qū)線，求導(dǎo)師收留，有恩必謝！ +7 | 迷人的哈哈 2026-03-28 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿南京航空航天大學(xué)材料學(xué)碩求調(diào)劑 +3 | @taotao 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料求調(diào)劑一志愿哈工大324 +7 | 閆旭東 2026-03-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 275求調(diào)劑 +10 | jjjjjjjjjjl 2026-03-27 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 341求調(diào)劑 +7 | 青檸檬1 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 機(jī)械學(xué)碩310分，數(shù)一英一，一志愿211本科雙非找調(diào)劑信息 +3 | @357 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +3 | AZMK 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 086003食品工程求調(diào)劑 +6 | 淼淼111 2026-03-24 | 6/300 |
|