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mengbin木蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射 射頻電源 不能起輝（謝謝）
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| 各位蟲友：本人使用一臺中國科儀（沈陽）的磁控濺射儀（JGP450型），以前利用射頻濺射氧化物薄膜時均正常，可是前一段發(fā)生了一次磁控靶和設(shè)備之間短路的問題，現(xiàn)在短路修好了，可是射頻濺射不能起輝，但直流濺射時一切均正�！，F(xiàn)在搞不懂了，到底是哪出問題了。我們的射頻電源是Comdel的，懷疑有問題郵寄到北京檢測了，廠家說沒問題，可現(xiàn)在就是不能工作。煩請各位蟲友指點、解惑。 |
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aaron5235
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4樓2012-11-09 18:40:18
daling8210
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2樓2012-11-08 23:27:58
oxky
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
mengbin: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-11-10 07:07:22
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mengbin: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-11-10 07:07:22
| 如果沒有短路，射頻開啟后，是否有反射功率，有沒試著增加功率？如果改過腔體或靶，不起輝應(yīng)該是匹配有問題。設(shè)備是否是自動匹配？手動的話就要自己調(diào)。由于設(shè)備調(diào)整過，自動的話有可能超出了自動調(diào)整范圍。如果是大功率電源的話，通常在匹配器中有電感可以選擇不同的位置連接，有的也可通過調(diào)可變電容接線位來調(diào)整范圍。調(diào)整方式應(yīng)該可以在電源說明書中找到。注改完調(diào)試或手動匹配是，采用小功率進行。 |
3樓2012-11-09 16:38:21
★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
mengbin: 金幣+2, ★有幫助 2012-11-11 08:15:15
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5樓2012-11-10 00:41:00
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