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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 合成表征 » 磁控濺射 射頻電源 不能起輝（謝謝）
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mengbin木蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射 射頻電源 不能起輝（謝謝）
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| 各位蟲友：本人使用一臺中國科儀（沈陽）的磁控濺射儀（JGP450型），以前利用射頻濺射氧化物薄膜時均正常，可是前一段發(fā)生了一次磁控靶和設備之間短路的問題，現(xiàn)在短路修好了，可是射頻濺射不能起輝，但直流濺射時一切均正�！，F(xiàn)在搞不懂了，到底是哪出問題了。我們的射頻電源是Comdel的，懷疑有問題郵寄到北京檢測了，廠家說沒問題，可現(xiàn)在就是不能工作。煩請各位蟲友指點、解惑。 |
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xpengpengx
銅蟲 (小有名氣)
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9樓2013-01-21 10:33:37
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oxky
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【答案】應助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應助指數(shù) +1
mengbin: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-11-10 07:07:22
感謝參與，應助指數(shù) +1
mengbin: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-11-10 07:07:22
| 如果沒有短路，射頻開啟后，是否有反射功率，有沒試著增加功率？如果改過腔體或靶，不起輝應該是匹配有問題。設備是否是自動匹配？手動的話就要自己調(diào)。由于設備調(diào)整過，自動的話有可能超出了自動調(diào)整范圍。如果是大功率電源的話，通常在匹配器中有電感可以選擇不同的位置連接，有的也可通過調(diào)可變電容接線位來調(diào)整范圍。調(diào)整方式應該可以在電源說明書中找到。注改完調(diào)試或手動匹配是，采用小功率進行。 |
3樓2012-11-09 16:38:21
aaron5235
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4樓2012-11-09 18:40:18
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