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scuthb新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助:磁控濺射制備ZnOS薄膜,重復(fù)不出來
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用磁控濺射制備ZnOS薄膜,以ZnS為靶材,以Ar和O2分別為工作氣體和反應(yīng)氣體,通過改變氧分壓調(diào)節(jié)ZnOS合金中的S含量。 兩個月前第一次做實驗時,制備出了結(jié)晶性較好的合金薄膜。但之后一直無法重復(fù)出來,所制備的樣品為非晶(XRD上幾乎沒有信號)。請問有可能是哪些原因引起的? |
木蟲 (正式寫手)

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