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scuthb新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助：磁控濺射制備ZnOS薄膜，重復(fù)不出來
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用磁控濺射制備ZnOS薄膜，以ZnS為靶材，以Ar和O2分別為工作氣體和反應(yīng)氣體，通過改變氧分壓調(diào)節(jié)ZnOS合金中的S含量。 兩個月前第一次做實驗時，制備出了結(jié)晶性較好的合金薄膜。但之后一直無法重復(fù)出來，所制備的樣品為非晶（XRD上幾乎沒有信號）。請問有可能是哪些原因引起的？ |
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Smallpeng
木蟲 (正式寫手)
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Eric_
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蔣青松
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7樓2012-08-01 07:38:56
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