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nmliuhai銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
直流脈沖磁控濺射鍍硅膜陽極掉渣嚴重 已有1人參與
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| 各位蟲友，我最近用脈沖直流磁控濺射在玻璃基片上鍍硅膜。靶懸掛在真空室上方，基片放在靶正下方。實驗中, 本底真空為2*10^4 pa，Ar：1000 sccm, 功率為7kw，最后硅膜的厚度為20微米。不知為什么在鍍的過程中，靶陽極上鍍上的硅會發(fā)生脫落，落在基片上，在硅膜上產(chǎn)生了很多的坑。大家以前做的時候遇到過這種情況嗎？怎么才能有效的避免陽極上鍍上的硅不發(fā)生脫落？謝謝大家?guī)兔? |
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