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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射鍍銀 已有9人參與
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各位大俠們,我采用磁控濺射鍍銀,銀靶上很多黑點,不知道造成銀靶黑點有哪些因素?鍍銀的前面鍍了3-4μm的鎳銅合金,銀鍍膜室腔體壁有很厚的涂層。 請多多指教! 并且有個疑問請教各位大俠,Ar氣濺射銀靶的輝光是什么顏色的?我的鍍膜壓力是0.3-0.5Pa。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ] |
薄膜制備與特性 |
銀蟲 (小有名氣)
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