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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射鍍銀 已有9人參與
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各位大俠們，我采用磁控濺射鍍銀，銀靶上很多黑點(diǎn)，不知道造成銀靶黑點(diǎn)有哪些因素？鍍銀的前面鍍了3-4μm的鎳銅合金，銀鍍膜室腔體壁有很厚的涂層。 請(qǐng)多多指教！ 并且有個(gè)疑問(wèn)請(qǐng)教各位大俠，Ar氣濺射銀靶的輝光是什么顏色的？我的鍍膜壓力是0.3-0.5Pa。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ] |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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可能是氧化銀和硫化銀兩種。 但氧化銀100℃會(huì)分解，點(diǎn)靶后，濺射一段時(shí)間應(yīng)該就沒了。 如果是硫化銀的話，應(yīng)該和下面的鎳銅有關(guān)系。3-4μm的鎳銅是磁控還是化學(xué)法？鎳很容易和硫結(jié)合的。 解決方法： 打磨銀靶表面，濺射后的新鮮表面，最好保護(hù)起來(lái)，不要暴露在大氣中，空氣污染很重的。 下次濺射還有，說(shuō)明就是鎳銅或?yàn)R射氣氛的原因。 |
liaofang20
19樓2013-06-07 08:49:56
conquertju
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liaofang20
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4樓2013-06-05 17:40:54
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