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六月彩空木蟲 (小有名氣)
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[求助]
在哪可以加工銅基微納米結(jié)構(gòu)
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| 各位大蟲，我想加工刻蝕一些銅基微納米結(jié)構(gòu)，即在紫銅片表面的垂直方向上刻蝕得到圓柱陣列。圓柱截面尺寸介于200-1000nm，相鄰柱體距離介于200-1000nm，柱高（即槽深）100nm以上，要求形貌清晰。請問國內(nèi)有哪些公司或高校接受代加工？除了電子束刻蝕，還有哪些方法可以做？如果將銅片表面涂覆一層石墨之后再制作微納米結(jié)構(gòu)，上述方法是否還可行？不勝感激！ |
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madandan0702
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7樓2013-11-03 18:19:39
yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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1. 你這個要求好高，要做好花大錢的準(zhǔn)備，沒個十萬八萬的，就放棄吧。 2. 是電子束光刻，不是電子束刻蝕，完全是兩回事。 3. 高校就別想了，沒人愿意找麻煩。研究所也就納米所可能會接。公司的話，你短信我，不做廣告。 4. 你的要求里面還缺非常多的定義，比如垂直度，精度，面積，等等。 5. 1um以下的，可以考慮stepper。也就是說你列出的尺寸，跨越了兩種方法，要做取舍。 6. 銅片表面質(zhì)量你自己是否有手段保證，這可能比微納加工還麻煩。 7. 涂覆石墨暫時無法評估，需要了解涂覆的方法，目的等。簡單想想，會極其困難。這就需要當(dāng)做項目開發(fā)做了，經(jīng)費需求極大。 |
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六月彩空2樓2013-06-26 23:49:30
semi-white
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3樓2013-06-27 10:35:41
六月彩空
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4樓2013-06-27 18:02:17
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