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lianlian1437至尊木蟲 (著名寫手)
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[求助]
光刻膠 臟污 問(wèn)題求助
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萬(wàn)能的蟲蟲啊，不知道可否有做過(guò)PR的？或者類似于做過(guò)溶液配制方面的？ 我的產(chǎn)品是自己配置的，現(xiàn)在一直糾結(jié)的問(wèn)題是，產(chǎn)品表面旋涂后光阻厚度情況在2um左右，表面可以看到一些小顆粒（大小都有，比較集中在高度10um左右，顆粒半半徑現(xiàn)在集中在0.1-0.5un，），采用多種方式還是沒(méi)法去掉。 實(shí)際工業(yè)上希望使用，所以這些顆粒都希望沒(méi)有，有用PTFE 濾芯過(guò)濾。 希望有經(jīng)驗(yàn)的人來(lái)給點(diǎn)指點(diǎn)啊！萬(wàn)分感謝！ @yswyx @stoyahao |
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damuchongzi
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2樓2013-06-28 16:21:56
yswyx 
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3樓2013-06-29 00:23:24
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4樓2013-07-01 13:26:49
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9樓2013-08-16 18:04:15
10樓2013-08-16 19:01:01
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