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[交流]
請教CVD系統(tǒng)的真空泵
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CVD系統(tǒng)用于制備納米材料，常會抽真空。 看文章里面說用機械泵，手頭有上海儀表的2XZ-4真空泵，說明書明確說明，不能用于抽易燃氣體。 南京大學的老師直接用的油泵，我比他怕死，不敢用。 請教應(yīng)該選擇何種真空泵？真空度可調(diào)的。 我是新手，請各位大俠指教。 |
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2樓2007-11-13 20:23:06
3樓2007-11-13 20:26:03
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