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請(qǐng)教CVD系統(tǒng)的真空泵
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CVD系統(tǒng)用于制備納米材料,常會(huì)抽真空。 看文章里面說(shuō)用機(jī)械泵,手頭有上海儀表的2XZ-4真空泵,說(shuō)明書(shū)明確說(shuō)明,不能用于抽易燃?xì)怏w。 南京大學(xué)的老師直接用的油泵,我比他怕死,不敢用。 請(qǐng)教應(yīng)該選擇何種真空泵?真空度可調(diào)的。 我是新手,請(qǐng)各位大俠指教。 |
木蟲(chóng) (小有名氣)
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