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寂寞流年新蟲 (小有名氣)
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[求助]
懇請(qǐng)大家?guī)兔獯鹨幌聶E偏儀的問題！
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| 我用變角度的橢偏儀對(duì)同一個(gè)樣品進(jìn)行了兩次測試，測得的ψ和Δ這兩條曲線基本一致，但是擬合之后的n，k關(guān)于波長的曲線相差甚遠(yuǎn)，請(qǐng)問大家，誰能根據(jù)ψ和Δ這兩條曲線擬合出n，k關(guān)于波長的曲線，或者是有相關(guān)的軟件或是算法，謝謝大家了！ |
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寂寞流年(chemlh代發(fā)): 金幣+2, 歡迎積極交流 2014-04-29 12:20:16
寂寞流年(chemlh代發(fā)): 金幣+2, 歡迎積極交流 2014-04-29 12:20:16
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橢偏儀是相對(duì)方法測量。需要多數(shù)據(jù)進(jìn)行模擬擬合。 同一樣品，曲線基本一致，得到的結(jié)果差別很大。有如下可能： 1. 擬合過程出錯(cuò) 2. 擬合沒有問題，對(duì)樣品不夠了解。（由于是相對(duì)方法，有可能厚度10nm時(shí)和厚度250nm時(shí)都得到很好的擬合結(jié)果，折光系數(shù)類似。所以需要了解樣品大致折光率） 3. 樣品有問題。 建議用光譜橢偏儀再次測量擬合。畢竟光譜橢偏儀的解析能力要好過單波長變角度橢偏儀。 |
2樓2014-04-29 10:51:23
zitengluo721
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 36.5
- 帖子: 8
- 在線: 1.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 2838791
- 注冊: 2013-11-30
3樓2016-06-22 22:23:15
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