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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 緊急求助關于磷摻雜納米硅的問題
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aishanshan鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
緊急求助關于磷摻雜納米硅的問題
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| 各位蟲子上的大牛們求你們給分析這是怎么回事。我用PECVD做N型磷摻雜納米硅膜，通入氣體為PH3，SiH4，H2，玻璃襯底，射頻功率30w，溫度200℃。但是不管生長多長時間玻璃襯底上什么都沒有，就是沒有納米硅膜。但是如果不通入PH3，只通入SiH4，H2生長本征納米硅膜一切正常，就是通入PH3做摻雜后什么都生長不上。氣體源沒問題，PH3已經換新的了，腔室也沒問題，換別的腔室也這樣，射頻源也換過沒用。大牛們遇到過這樣的情況么？求解釋謝謝 |
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