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[求助]
關于硅片表面疏水性處理的問題，20金幣，謝謝指點 已有1人參與
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從spi購買的silicon wafer希望通過處理能夠?qū)崿F(xiàn)疏水性表面。查文獻知道一般是通過兩步實現(xiàn)，首先通過濃硫酸+雙氧水處理，除掉表面氧化層，并且引入羥基，第二步通過硅烷偶聯(lián)試劑（含烷基鏈）浸泡較短時間即可得到疏水性表面。比如二氯硅烷。 我已經(jīng)能夠通過第一步實現(xiàn)親水性硅表面，接觸角10左右。第二步能否給一個比較詳細的步驟介紹，越詳細越好，非常感謝。如果有用會另有金幣贈送，借來的賬號，送50金幣吧。因為文獻中說的比較簡單，但是有人說需要注意防水，反應時間影響也很大。 問題 1 最常用的硅烷偶聯(lián)試劑有哪些，需要接觸角80左右，并且容易操作，最好有 2 一般文獻中講需要將硅片在硅烷偶聯(lián)試劑中浸泡，需要浸泡多少時間，濃度是多少？常用的溶劑是什么？ 非常感謝！ |
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zihua886
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5樓2014-05-08 10:52:35
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