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shaoweina金蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于硅片表面疏水性處理的問題,20金幣,謝謝指點(diǎn) 已有1人參與
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從spi購(gòu)買的silicon wafer希望通過處理能夠?qū)崿F(xiàn)疏水性表面。查文獻(xiàn)知道一般是通過兩步實(shí)現(xiàn),首先通過濃硫酸+雙氧水處理,除掉表面氧化層,并且引入羥基,第二步通過硅烷偶聯(lián)試劑(含烷基鏈)浸泡較短時(shí)間即可得到疏水性表面。比如二氯硅烷。 我已經(jīng)能夠通過第一步實(shí)現(xiàn)親水性硅表面,接觸角10左右。第二步能否給一個(gè)比較詳細(xì)的步驟介紹,越詳細(xì)越好,非常感謝。如果有用會(huì)另有金幣贈(zèng)送,借來的賬號(hào),送50金幣吧。因?yàn)槲墨I(xiàn)中說的比較簡(jiǎn)單,但是有人說需要注意防水,反應(yīng)時(shí)間影響也很大。 問題 1 最常用的硅烷偶聯(lián)試劑有哪些,需要接觸角80左右,并且容易操作,最好有 2 一般文獻(xiàn)中講需要將硅片在硅烷偶聯(lián)試劑中浸泡,需要浸泡多少時(shí)間,濃度是多少?常用的溶劑是什么? 非常感謝! |
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