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shaoweina金蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于硅片表面疏水性處理的問(wèn)題，20金幣，謝謝指點(diǎn) 已有1人參與
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從spi購(gòu)買的silicon wafer希望通過(guò)處理能夠?qū)崿F(xiàn)疏水性表面。查文獻(xiàn)知道一般是通過(guò)兩步實(shí)現(xiàn)，首先通過(guò)濃硫酸+雙氧水處理，除掉表面氧化層，并且引入羥基，第二步通過(guò)硅烷偶聯(lián)試劑（含烷基鏈）浸泡較短時(shí)間即可得到疏水性表面。比如二氯硅烷。 我已經(jīng)能夠通過(guò)第一步實(shí)現(xiàn)親水性硅表面，接觸角10左右。第二步能否給一個(gè)比較詳細(xì)的步驟介紹，越詳細(xì)越好，非常感謝。如果有用會(huì)另有金幣贈(zèng)送，借來(lái)的賬號(hào)，送50金幣吧。因?yàn)槲墨I(xiàn)中說(shuō)的比較簡(jiǎn)單，但是有人說(shuō)需要注意防水，反應(yīng)時(shí)間影響也很大。 問(wèn)題 1 最常用的硅烷偶聯(lián)試劑有哪些，需要接觸角80左右，并且容易操作，最好有 2 一般文獻(xiàn)中講需要將硅片在硅烷偶聯(lián)試劑中浸泡，需要浸泡多少時(shí)間，濃度是多少？常用的溶劑是什么？ 非常感謝！ |
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5樓2014-05-08 10:52:35
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