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[求助]
CVD法硅片上能生長石墨烯嗎
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| 本人剛做石墨烯的制備,因為想找一種與石墨烯熱膨脹系數(shù)相當?shù)囊r底,請問硅片上能長石墨烯嗎? |
wulishi8在碳材料和其他專業(yè)問題的回復 |
專家顧問 (知名作家)
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專家經(jīng)驗: +373 |

木蟲 (正式寫手)

鐵蟲 (小有名氣)
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Si上生長石墨烯前幾年是石墨烯材料生長的一個小熱點,理論和實驗結(jié)果都證明這個方法可行。 但是,整體來說,Si上石墨烯的缺陷很多,這是由于碳源氣體中的C原子先和Si原子結(jié)合成SiC緩沖層,然后再生長石墨烯,這樣石墨烯的形貌就由SiC緩沖層決定,而Si上生長SiC是國際難題,都沒有更好的辦法,表面比較差,導致石墨烯不可避免的帶來很多缺陷。我曾經(jīng)生長了10多爐Si上石墨烯,最好的2D峰半寬是90cm-1,文獻中最好是60cm-1多,都不如SiC升華和CVD外延,所以從去年至今國際上都不怎么做了,這個方法已經(jīng)過時了。 中科院化學所提出在Si上先外延Si3N4,再用CVD法生長石墨烯,這個方法可行,2D峰半寬最小達到65cm-1 |

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