 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 514 | 回復(fù): 3 | |||
| 當(dāng)前主題已經(jīng)存檔。 | |||
[交流]
【請教】關(guān)于Si基底的清洗
|
|||
|
我想問大家，在制膜時(shí)用Si做基底，應(yīng)該怎么清洗Si基底才能做得萬無一失啊，真誠的謝謝�。�！ [ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-25 at 00:58 ] |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
求調(diào)劑院校信息
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
085600材料與化工306
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
286求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
328求調(diào)劑，英語六級551，有科研經(jīng)歷
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
一志愿北京化工大學(xué)070300 學(xué)碩336求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
286分人工智能專業(yè)請求調(diào)劑愿意跨考！
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
資源與環(huán)境 調(diào)劑申請(333分)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
280求調(diào)劑
已經(jīng)有12人回復(fù)
-
269專碩求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
材料學(xué)碩301分求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
2樓2007-12-17 22:10:16
wangfang198502
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 177
- 帖子: 30
- 在線: 32分鐘
- 蟲號: 422832
- 注冊: 2007-07-17
- 性別: MM
- 專業(yè): 材料物理化學(xué)/薄膜
★ ★
FLY_Phoenix(金幣+2,VIP+0):謝謝，辛苦了
FLY_Phoenix(金幣+2,VIP+0):謝謝，辛苦了
|
這是我們實(shí)驗(yàn)室一畢業(yè)師姐論文里關(guān)于清洗Si基片的介紹，不過據(jù)說她沒這么做，現(xiàn)在一師姐也不這么做，可是我老師要我盡量按照規(guī)范做，我基本尊送了此過程，除了最后一步?jīng)]用N2吹干，二十放到酒精中待用，基片最好是用前再清洗。 (1) 首先將基底放在燒杯里，要使基底的正面朝上，以防在超聲清洗過程中與燒杯底部摩擦，加入適量的CCl4浸泡，并在超聲波中超聲10min，以除去表面的油脂。取出基底后， 用去離子水沖洗； (2) 再將基底放入另一個(gè)燒杯中，加入適量丙酮，超聲10min，以除去剩余的油脂，然后取出基底，用去離子水沖洗； (3) 將基底放在另一個(gè)裝有適量乙醇的燒杯中超聲10min，以除去基底表面的CCl4和丙酮，然后用去離子水沖洗； (4) 將基底在80℃的 (NH4OH: H2O2: H2O=1:1:5) 溶液中放置10min，取出后，用去離子水洗凈，在0.5%HF中放置5min，以除去表面的氧化物，并用去離子水洗凈； (5) 再將基底在80℃的 (HCl: H2O2: H2O=1:1:5) 溶液中浸泡10min，取出后，用去離子水洗凈，在1%HF中放置5min，以徹底除去表面的氧化物，并用去離子水洗凈； (6) 最后將洗好的Si(100)基底用N2吹干后，放入真空室中備用。 |
3樓2007-12-18 02:00:54
bluesky238
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1685.5
- 散金: 1
- 帖子: 769
- 在線: 100.4小時(shí)
- 蟲號: 491261
- 注冊: 2008-01-05
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
4樓2008-05-24 15:56:30
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 chaiping 的主題更新
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 269專碩求調(diào)劑 +5 | 金恩貝 2026-03-21 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 生物學(xué)調(diào)劑 +3 | Surekei 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +3 | 勇敢的小吳 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 22 350 本科985求調(diào)劑，求老登收留 +3 | 李軼男003 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 南昌大學(xué)材料專碩311分求調(diào)劑 +6 | 77chaselx 2026-03-20 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿山大07化學(xué) 332分 四六級已過 本科山東雙非 求調(diào)劑！ +3 | 不想理你 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿天津大學(xué)化學(xué)工藝專業(yè)（081702）315分求調(diào)劑 +12 | yangfz 2026-03-17 | 12/600 |
|
|
|
[考研]
 271材料工程求調(diào)劑
+8
|
.6lL 2026-03-18 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 294求調(diào)劑材料與化工專碩 +15 | 陌の森林 2026-03-18 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 一志愿 西北大學(xué) ，070300化學(xué)學(xué)碩，總分287，雙非一本，求調(diào)劑。 +4 | 晨昏線與星海 2026-03-19 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑一志愿南京航空航天大學(xué)289分 +3 | @taotao 2026-03-19 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0817 化學(xué)工程 299分求調(diào)劑 有科研經(jīng)歷 有二區(qū)文章 +22 | rare12345 2026-03-18 | 22/1100 |
|
|
|
[考研] 261求B區(qū)調(diào)劑，科研經(jīng)歷豐富 +3 | 牛奶很忙 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 298-一志愿中國農(nóng)業(yè)大學(xué)-求調(diào)劑 +9 | 手機(jī)用戶 2026-03-17 | 9/450 |
|
|
|
[考研]
320求調(diào)劑0856
+3
|
不想起名字112 2026-03-19 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工調(diào)劑 324分 +10 | llllkkkhh 2026-03-18 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 293求調(diào)劑 +11 | zjl的號 2026-03-16 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +3 | p asserby. 2026-03-15 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 機(jī)械專碩325，尋找調(diào)劑院校 +3 | y9999 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 中科院材料273求調(diào)劑 +4 | yzydy 2026-03-15 | 4/200 |
|