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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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maximus1214

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[求助] EBL顯影之后做了SEM發(fā)現(xiàn)問(wèn)題

我在EBL（PMMA A4）顯影之后，做了一下SEM，看了幾個(gè)圖形區(qū)域。結(jié)束之后發(fā)現(xiàn)一些圖形區(qū)域中圖形還存在，但是以圖形為中心，出現(xiàn)一個(gè)矩形框把圖形包圍起來(lái)，矩形中的膠就像被刻蝕掉了一樣，求大神解釋一下，這是為什么？謝謝！

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1樓 2013-11-21 16:17:15

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gxytju2008

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maximus1214: 金幣+5, ★★★很有幫助, 感謝 2013-11-24 00:51:57

帶膠居然不噴金么。、。這電子束轟上去很容易碳化分解的，看不清楚，而且對(duì)極靴也有污染，不建議的

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7樓2013-11-22 17:35:36

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yswyx

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maximus1214(supernatural代發(fā)): 金幣+5, 樓主本想給5樓5金幣，5樓既是3樓，因此代發(fā)金幣5個(gè) 2013-11-24 09:24:15

SEM在觀察的時(shí)候是發(fā)射電子的。矩形框就是你的片子再次被電子整片的轟擊了一遍，矩形的范圍就是SEM的視場(chǎng)。相當(dāng)于再曝光了一次。

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3樓2013-11-22 11:43:14

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maximus1214

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引用回帖:

3樓: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 11:43:14
SEM在觀察的時(shí)候是發(fā)射電子的。矩形框就是你的片子再次被電子整片的轟擊了一遍，矩形的范圍就是SEM的視場(chǎng)。相當(dāng)于再曝光了一次。

這個(gè)我知道，關(guān)鍵是我顯過(guò)影了，而且就算是再被曝光了一次也不應(yīng)該膠立馬就沒(méi)了啊

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4樓2013-11-22 14:13:27

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引用回帖:

4樓: Originally posted by maximus1214 at 2013-11-22 14:13:27
這個(gè)我知道，關(guān)鍵是我顯過(guò)影了，而且就算是再被曝光了一次也不應(yīng)該膠立馬就沒(méi)了啊
...

你是照的太久了吧。膠在SEM中電子的照射下會(huì)有強(qiáng)烈的收縮變形。

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5樓2013-11-22 15:38:05

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