 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 2668 | 回復(fù): 16 | |||
maximus1214銀蟲 (初入文壇)
|
[求助]
EBL顯影之后做了SEM發(fā)現(xiàn)問題
|
||
| 我在EBL（PMMA A4）顯影之后，做了一下SEM，看了幾個圖形區(qū)域。結(jié)束之后發(fā)現(xiàn)一些圖形區(qū)域中圖形還存在，但是以圖形為中心，出現(xiàn)一個矩形框把圖形包圍起來，矩形中的膠就像被刻蝕掉了一樣，求大神解釋一下，這是為什么？謝謝！ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無機化學(xué)論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有297人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
湖北師范大學(xué)復(fù)試調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
fyl1989
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 1194.1
- 散金: 26
- 紅花: 10
- 帖子: 507
- 在線: 151.1小時
- 蟲號: 2245000
- 注冊: 2013-01-16
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
|
其實就是停留太久了，如果你停留再久點，當(dāng)你移走SEM視場時，會發(fā)現(xiàn)原來視場左上角的位置已經(jīng)被beam燒出一個點了，最好的方法就是做很多組重復(fù)圖形，調(diào)好參數(shù)，顯影后觀察只用觀察其中的一兩組就夠，如果所觀察的都沒問題，基本能夠確定其他的圖形也沒什么大問題（就算有也是個別問題）。 還有，這個不是針對你顯影不顯影的問題，你顯影完后PMMA在沒被曝光的地方照樣是大分子相互連接，當(dāng)你觀察圖形時，beam照到這些地方，大分子還是斷裂變成小分子，和你第一次曝光的過程是一樣的。并且，我們有時為了看套刻是否準(zhǔn)確，會在一層膠上連做兩次曝光，兩次顯影，效果也不錯，就是這個意思。希望對樓主有所幫助！ |
14樓2014-01-17 13:52:39
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗: +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
5樓2013-11-22 15:38:05
gxytju2008
專家顧問 (文壇精英)
-
專家經(jīng)驗: +1654 - MN-EPI: 2
- 應(yīng)助: 4105 (副教授)
- 貴賓: 0.053
- 金幣: 47554.2
- 散金: 4089
- 紅花: 503
- 帖子: 14997
- 在線: 7315.6小時
- 蟲號: 1111232
- 注冊: 2010-09-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 材料物理化學(xué)
- 管轄: 微米和納米
7樓2013-11-22 17:35:36
yswyx
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗: +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
3樓2013-11-22 11:43:14
gxytju2008
專家顧問 (文壇精英)
-
專家經(jīng)驗: +1654 - MN-EPI: 2
- 應(yīng)助: 4105 (副教授)
- 貴賓: 0.053
- 金幣: 47554.2
- 散金: 4089
- 紅花: 503
- 帖子: 14997
- 在線: 7315.6小時
- 蟲號: 1111232
- 注冊: 2010-09-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 材料物理化學(xué)
- 管轄: 微米和納米
2樓2013-11-21 17:17:33
maximus1214
銀蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 364.5
- 帖子: 33
- 在線: 6.8小時
- 蟲號: 1720333
- 注冊: 2012-03-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 交叉學(xué)科中的光學(xué)問題
4樓2013-11-22 14:13:27
6樓2013-11-22 16:15:38
maximus1214
銀蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 364.5
- 帖子: 33
- 在線: 6.8小時
- 蟲號: 1720333
- 注冊: 2012-03-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 交叉學(xué)科中的光學(xué)問題
8樓2013-11-24 00:54:28
maximus1214
銀蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 364.5
- 帖子: 33
- 在線: 6.8小時
- 蟲號: 1720333
- 注冊: 2012-03-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 交叉學(xué)科中的光學(xué)問題
9樓2013-11-24 00:55:09
supernatural
榮譽版主 (文壇精英)
- 應(yīng)助: 159 (高中生)
- 貴賓: 1.841
- 金幣: 15900.9
- 散金: 26025
- 紅花: 355
- 沙發(fā): 196
- 帖子: 11881
- 在線: 1971.9小時
- 蟲號: 1714707
- 注冊: 2012-03-25
- 專業(yè): 生化分析及生物傳感
- 管轄: 微米和納米
10樓2013-11-24 09:24:47
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 maximus1214 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 266分，求材料相關(guān)專業(yè)調(diào)劑 +4 | 哇呼哼呼哼 2026-03-30 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料專碩 085600求調(diào)劑 +7 | BBQ233 2026-03-30 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +15 | 新時代材料 2026-03-27 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 材料科學(xué)與工程調(diào)劑 +8 | 深V宿舍吧 2026-03-30 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 282求調(diào)劑 +4 | wcq131415 2026-03-24 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿河北工業(yè)大學(xué)0817化工278分求調(diào)劑 +14 | jhybd 2026-03-23 | 19/950 |
|
|
|
[考研] 348求調(diào)劑 +6 | 小懶蟲不懶了 2026-03-28 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料科學(xué)與工程求調(diào)劑 +6 | 深V宿舍吧 2026-03-29 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 343求調(diào)劑085601 +3 | 要努力學(xué)習(xí)x 2026-03-29 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 291求調(diào)劑 +5 | Y-cap 2026-03-29 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 086000生物與醫(yī)藥調(diào)劑 +5 | Feisty。 2026-03-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 數(shù)一英一271專碩（085401）求調(diào)劑，可跨 +7 | 前行必有光 2026-03-28 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 11408軟件工程求調(diào)劑 +3 | Qiu學(xué)ing 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 081200-314 +3 | LILIQQ 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料求調(diào)劑一志愿哈工大324 +7 | 閆旭東 2026-03-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料求調(diào)劑 一志愿哈工大總分298分，前三科223分 +5 | dongfang59 2026-03-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑推薦 材料 304 +15 | 荷包蛋hyj 2026-03-26 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 0856調(diào)劑 +5 | 求求讓我有書讀?/a> 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +10 | 呼呼？~+123456 2026-03-24 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 李李不服輸 2026-03-25 | 3/150 |
|