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maximus1214銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
EBL顯影之后做了SEM發(fā)現(xiàn)問題
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| 我在EBL（PMMA A4）顯影之后，做了一下SEM，看了幾個圖形區(qū)域。結(jié)束之后發(fā)現(xiàn)一些圖形區(qū)域中圖形還存在，但是以圖形為中心，出現(xiàn)一個矩形框把圖形包圍起來，矩形中的膠就像被刻蝕掉了一樣，求大神解釋一下，這是為什么？謝謝！ |
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其實就是停留太久了，如果你停留再久點，當你移走SEM視場時，會發(fā)現(xiàn)原來視場左上角的位置已經(jīng)被beam燒出一個點了，最好的方法就是做很多組重復(fù)圖形，調(diào)好參數(shù)，顯影后觀察只用觀察其中的一兩組就夠，如果所觀察的都沒問題，基本能夠確定其他的圖形也沒什么大問題（就算有也是個別問題）。 還有，這個不是針對你顯影不顯影的問題，你顯影完后PMMA在沒被曝光的地方照樣是大分子相互連接，當你觀察圖形時，beam照到這些地方，大分子還是斷裂變成小分子，和你第一次曝光的過程是一樣的。并且，我們有時為了看套刻是否準確，會在一層膠上連做兩次曝光，兩次顯影，效果也不錯，就是這個意思。希望對樓主有所幫助！ |
14樓2014-01-17 13:52:39
yswyx 
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8樓2013-11-24 00:54:28
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9樓2013-11-24 00:55:09
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