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URHX5454金蟲 (小有名氣)
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[求助]
濺射中，如何用等離子轟擊清洗基片 已有1人參與
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| 請問高手們，我之前濺射做了一批樣品放了有一年了，但是現在需要用他來繼續(xù)做實驗，感覺放那么久表面應該鈍化了吧，所以想說用等離子體轟擊一下，但是我們組只有磁控濺射儀，搜了一下，說可以把陰陽極的電源接口換一下，這樣Ar離子就會轟擊基片了，但是不敢亂動儀器。想說，不動電源，而是將基片放到靶材基座上，這樣可行嗎？會不會對濺射儀造成傷害？謝謝啦 |
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