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神風(fēng)獨(dú)舞金蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
環(huán)氧樹(shù)脂如何在硅片上均勻旋涂？
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| 之前將樹(shù)脂旋涂在蒸有金膜的硅片上，能得到薄而均勻的膜，現(xiàn)在蒸金設(shè)備故障，直接在硅片上旋涂，得到的膜并不均勻，其與硅片間潤(rùn)濕性差，請(qǐng)問(wèn)選擇什么樣的硅片其與環(huán)氧間的潤(rùn)濕性會(huì)比較好？哪種表面修飾的硅片？ |
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yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
神風(fēng)獨(dú)舞: 金幣+50, ★有幫助, 還有太多需要我去學(xué)習(xí)，謝謝。 2013-12-03 10:19:11
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HMDS熏蒸，找“靜靜一yi”去買。 環(huán)氧基的polymer很常見(jiàn)，溶劑選擇也很重要。SU8就是環(huán)氧的，用的是γ丁內(nèi)酯做溶劑。 |
2樓2013-11-27 16:55:29
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