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環(huán)氧樹脂如何在硅片上均勻旋涂?
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| 之前將樹脂旋涂在蒸有金膜的硅片上,能得到薄而均勻的膜,現(xiàn)在蒸金設(shè)備故障,直接在硅片上旋涂,得到的膜并不均勻,其與硅片間潤濕性差,請問選擇什么樣的硅片其與環(huán)氧間的潤濕性會比較好?哪種表面修飾的硅片? |
專家顧問 (著名寫手)
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專家經(jīng)驗: +651 |
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HMDS熏蒸,找“靜靜一yi”去買。 環(huán)氧基的polymer很常見,溶劑選擇也很重要。SU8就是環(huán)氧的,用的是γ丁內(nèi)酯做溶劑。 |
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