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lqqisanswer銀蟲 (小有名氣)
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請大家?guī)兔鉀Q一個(gè)問題：我是做OLED的，最近蒸鍍設(shè)備出現(xiàn)了問題
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請大家?guī)兔鉀Q一個(gè)問題：我是做OLED的，最近蒸鍍設(shè)備出現(xiàn)了問題，清洗腔室后做器件啟亮很高，我們的器件結(jié)構(gòu)：ITO/MoO3/NPB/Alq3/LiF/Al 。可能有哪些原因？謝謝大家！ 詳細(xì)情況如下：清洗腔室后（用丙酮和乙醇擦洗），我們表征了下膜厚和清洗之前比較發(fā)現(xiàn)差別并不大，但做標(biāo)準(zhǔn)器件時(shí)啟亮偏高3.4V（比平時(shí)要高點(diǎn)），后來又做了一次（換了新買的氧化鉬）啟亮變?yōu)?V，我們懷疑氧化鉬又問題就跟別的課題組借了他們的MoO3做器件啟亮還是高4V，之后我們又重新清洗了一次腔室做啟亮還是很高，且后面越做越高。請問可能是什么問題？ |
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2樓2013-12-03 22:04:12
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4樓2013-12-11 15:15:25
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