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lqqisanswer銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
請大家?guī)兔鉀Q一個問題:我是做OLED的,最近蒸鍍設備出現(xiàn)了問題
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請大家?guī)兔鉀Q一個問題:我是做OLED的,最近蒸鍍設備出現(xiàn)了問題,清洗腔室后做器件啟亮很高,我們的器件結構:ITO/MoO3/NPB/Alq3/LiF/Al ?赡苡心男┰?謝謝大家! 詳細情況如下:清洗腔室后(用丙酮和乙醇擦洗),我們表征了下膜厚和清洗之前比較發(fā)現(xiàn)差別并不大,但做標準器件時啟亮偏高3.4V(比平時要高點),后來又做了一次(換了新買的氧化鉬)啟亮變?yōu)?V,我們懷疑氧化鉬又問題就跟別的課題組借了他們的MoO3做器件啟亮還是高4V,之后我們又重新清洗了一次腔室做啟亮還是很高,且后面越做越高。請問可能是什么問題? |
鐵桿木蟲 (著名寫手)

銀蟲 (小有名氣)
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