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qnwh新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
急問(wèn)：如何測(cè)量高分子薄膜的介電常數(shù) 已有2人參與
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大家好，薄膜是用旋涂方法制備在硅片上，si 片尺寸大概是10mm*10 mm,膜厚大概是30nm， 請(qǐng)教如何測(cè)量薄膜的介電常數(shù)？ 實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)借有agilent LCR meter 一臺(tái)，但是沒(méi)有測(cè)量介電常數(shù)的專用夾具（價(jià)格有點(diǎn)貴，而且這臺(tái)儀器屬于別的組） 現(xiàn)只有一個(gè)夾子式樣的夾具，這可否測(cè)出材料的介電常數(shù)這個(gè)夾子和樣品接觸的表面積很小，而且很難保證每次夾住樣品的時(shí)候面積都一樣，請(qǐng)問(wèn)如何縮小試驗(yàn)誤差？ 請(qǐng)問(wèn)我是否需要在樣品上下做電極（控制面積）？這樣把硅的電容也算進(jìn)來(lái)了，是不是減掉后就是薄膜的電容？？ 再根據(jù)公式計(jì)算出介電常數(shù)。 謝謝各位同學(xué)來(lái)看我的問(wèn)題，這個(gè)問(wèn)題很著急，請(qǐng)大牛來(lái)指導(dǎo)指導(dǎo)！ 剛注冊(cè)，還是無(wú)產(chǎn)階級(jí)，等有錢后一定還上 |
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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2樓2013-12-30 17:26:37
kb-rfic
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 2
- 帖子: 3
- 在線: 12小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 3134436
- 注冊(cè): 2014-04-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2015-06-13 14:22:42
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