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急問：如何測量高分子薄膜的介電常數(shù) 已有2人參與
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大家好，薄膜是用旋涂方法制備在硅片上，si 片尺寸大概是10mm*10 mm,膜厚大概是30nm， 請教如何測量薄膜的介電常數(shù)？ 實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)借有agilent LCR meter 一臺，但是沒有測量介電常數(shù)的專用夾具（價(jià)格有點(diǎn)貴，而且這臺儀器屬于別的組） 現(xiàn)只有一個(gè)夾子式樣的夾具，這可否測出材料的介電常數(shù)這個(gè)夾子和樣品接觸的表面積很小，而且很難保證每次夾住樣品的時(shí)候面積都一樣，請問如何縮小試驗(yàn)誤差？ 請問我是否需要在樣品上下做電極（控制面積）？這樣把硅的電容也算進(jìn)來了，是不是減掉后就是薄膜的電容？？ 再根據(jù)公式計(jì)算出介電常數(shù)。 謝謝各位同學(xué)來看我的問題，這個(gè)問題很著急，請大牛來指導(dǎo)指導(dǎo)！ 剛注冊，還是無產(chǎn)階級，等有錢后一定還上 |
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2樓2013-12-30 17:26:37
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3樓2015-06-13 14:22:42
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