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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 樣品表面清洗與干燥
| 查看: 2649 | 回復: 23 | ||||
ledlau木蟲 (著名寫手)
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[交流]
樣品表面清洗與干燥 已有11人參與
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平時實驗的時候都是用的劃片機切割成的15×15，或者10×10的小硅片 在表面進行一些列微工藝之后 用去離子水清洗 然后為了使樣品干燥，采用N2吹干 但是實際上，特別是秋冬季節(jié)，感覺表面還是很濕潤 而且當硅片表面有Cu層，為了防止氧化，不能放入干燥箱烘干 請問下 大家平時是怎么處理這種情況的啊 如樣品要去拍SEM，樣品有表面有水分的話，拍攝效果很不好 |
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