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ledlau木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[交流]
樣品表面清洗與干燥 已有11人參與
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平時(shí)實(shí)驗(yàn)的時(shí)候都是用的劃片機(jī)切割成的15×15，或者10×10的小硅片 在表面進(jìn)行一些列微工藝之后 用去離子水清洗 然后為了使樣品干燥，采用N2吹干 但是實(shí)際上，特別是秋冬季節(jié)，感覺(jué)表面還是很濕潤(rùn) 而且當(dāng)硅片表面有Cu層，為了防止氧化，不能放入干燥箱烘干 請(qǐng)問(wèn)下 大家平時(shí)是怎么處理這種情況的啊 如樣品要去拍SEM，樣品有表面有水分的話(huà)，拍攝效果很不好 |
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