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騎豬去散步木蟲 (初入文壇)
老男孩
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[求助]
硅基電化學(xué)腐蝕，求助！！
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單晶硅電化學(xué)腐蝕 腐蝕液是HF+DMF 前段時間做的時候電流較小，能夠正常腐蝕出需要的圖形 后來改變電流大小，增大了腐蝕電流，就出現(xiàn)腐蝕不下去的現(xiàn)象，只能腐蝕下去一點點的深度，而且在光學(xué)顯微鏡下觀察能夠觀察到明顯粗糙有小孔的表面 這是怎么回事？？有高人懂的沒有，或者有相關(guān)文獻(xiàn)提供，萬分感謝 正常的情況下，電流大了應(yīng)該會出現(xiàn)電拋光現(xiàn)象，怎么還會出現(xiàn)粗糙的表面？？ 會不會是表面有氧化物形成阻止了腐蝕的進(jìn)行？？ 望高人解答�。� |
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CHNxmc
木蟲 (小有名氣)
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2樓2014-07-23 12:54:24
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