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騎豬去散步木蟲 (初入文壇)
老男孩
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[求助]
硅基電化學(xué)腐蝕,求助!
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單晶硅電化學(xué)腐蝕 腐蝕液是HF+DMF 前段時(shí)間做的時(shí)候電流較小,能夠正常腐蝕出需要的圖形 后來改變電流大小,增大了腐蝕電流,就出現(xiàn)腐蝕不下去的現(xiàn)象,只能腐蝕下去一點(diǎn)點(diǎn)的深度,而且在光學(xué)顯微鏡下觀察能夠觀察到明顯粗糙有小孔的表面 這是怎么回事??有高人懂的沒有,或者有相關(guān)文獻(xiàn)提供,萬分感謝 正常的情況下,電流大了應(yīng)該會出現(xiàn)電拋光現(xiàn)象,怎么還會出現(xiàn)粗糙的表面?? 會不會是表面有氧化物形成阻止了腐蝕的進(jìn)行?? 望高人解答! |

木蟲 (小有名氣)
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