 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 4229 | 回復(fù): 24 | |||
houhualong木蟲 (正式寫手)
|
[求助]
磁控濺射鍍金屬膜，SEM可以看到晶粒大小嗎，還是用AFM？ 已有13人參與
|
||
| 如題，磁控濺射鍍金屬膜，SEM可以看到晶粒大小嗎，還是用AFM？我是在不同功率、不同氣壓下做的，想看看各個參數(shù)下的形貌有什么區(qū)別，估計低倍下受基體劃痕影響較大，想通過高倍看看晶粒大小有什么變化。不知有沒有這樣做的蟲友，傳授一下經(jīng)驗，O(∩_∩)O謝謝。 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
北京航空航天大學(xué)26級博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有20人回復(fù)
-
溫州大學(xué)王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
無機化學(xué)論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有300人回復(fù)
-
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負責(zé)_院士團隊_學(xué)生高自由度成長_擅長學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團隊-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團隊氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有1人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 請問這樣的SEM圖可以用IPP來測晶粒大小嗎
已經(jīng)有6人回復(fù)
- SEM觀察管線鋼組織、晶粒時，怎么腐蝕晶界才能如此清晰
已經(jīng)有7人回復(fù)
- XRD和AFM測得的晶粒尺寸
已經(jīng)有17人回復(fù)
- SEM看陶瓷晶粒尺寸的修正因數(shù)
已經(jīng)有10人回復(fù)
- Jade計算出來的晶粒尺寸大小趨勢和SEM圖相反？
已經(jīng)有13人回復(fù)
fyl1989
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 1194.1
- 散金: 26
- 紅花: 10
- 帖子: 507
- 在線: 151.1小時
- 蟲號: 2245000
- 注冊: 2013-01-16
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
houhualong: 金幣+5, ★★★很有幫助 2014-01-07 17:02:05
houhualong: 金幣+5, ★★★很有幫助 2014-01-07 17:02:05
| 我們這兩種都做過，先說SEM吧（拿TiN薄膜為例），我們是直接在Si襯底上生長TiN,正如樓上有人所說，由于薄膜表面平坦度較好，所以可能導(dǎo)致SEM圖的Contrast較低，圖像分辨的不是很清楚，但還是可以看到的晶粒的，不過這要取決于薄膜的厚度和SEM的水平了。對于AFM，這個看表明的晶�；臼菦]有什么問題的（如果你只是為了看看不同條件對晶粒的影響），不過要想計算平均晶粒尺寸，還需要特定的軟件，我們在做金屬氧化物正交實驗時發(fā)現(xiàn)，功率是影響晶粒大小的關(guān)鍵因素，而壓強、靶基距、氣體流量對晶粒的影響不大，可以作為對薄膜淀積的參考（僅限參考），所以，你要想觀察晶粒尺寸的話，AFM和SEM都可用（推薦使用AFM），就看你AFM和SEM的水平了。PS：AFM和SEM在同樣比例尺下的圖可能觀察到的晶粒完全不同，這很正常，因為前者是利用探針和物體表面接觸反饋進行的成像，而后者是利用二次電子進行的成像，所以如果你想要進行比較，最好是在同一種表征手段下進行比較，否則可比性不大。希望對你有所幫助！ |
17樓2014-01-05 10:27:52
superpdy
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 5 (幼兒園)
- 金幣: 1373.6
- 沙發(fā): 8
- 帖子: 1081
- 在線: 51.7小時
- 蟲號: 2762315
- 注冊: 2013-10-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
2樓2014-01-02 10:07:22
3樓2014-01-02 10:22:31
gxytju2008
專家顧問 (文壇精英)
-
專家經(jīng)驗: +1654 - MN-EPI: 2
- 應(yīng)助: 4105 (副教授)
- 貴賓: 0.053
- 金幣: 47526.7
- 散金: 4089
- 紅花: 503
- 帖子: 14997
- 在線: 7315.2小時
- 蟲號: 1111232
- 注冊: 2010-09-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 材料物理化學(xué)
- 管轄: 微米和納米
4樓2014-01-02 11:30:21
Adrean
金蟲 (小有名氣)
鉆蟲
- 應(yīng)助: 12 (小學(xué)生)
- 金幣: 1852.9
- 散金: 90
- 紅花: 2
- 帖子: 248
- 在線: 101.2小時
- 蟲號: 2616768
- 注冊: 2013-08-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
8樓2014-01-02 18:09:22
11樓2014-01-04 20:29:33
peterflyer 
木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
- 應(yīng)助: 20282 (院士)
- 金幣: 146147
- 紅花: 1374
- 帖子: 93091
- 在線: 7694.3小時
- 蟲號: 1482829
- 注冊: 2011-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 功能陶瓷
13樓2014-01-05 00:43:32
jqz0001
鐵桿木蟲 (知名作家)
- 應(yīng)助: 8 (幼兒園)
- 金幣: 9017.5
- 散金: 1105
- 紅花: 17
- 沙發(fā): 7
- 帖子: 6651
- 在線: 280.2小時
- 蟲號: 694833
- 注冊: 2009-01-31
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
14樓2014-01-05 00:57:48
5樓2014-01-02 11:57:35
gxytju2008
專家顧問 (文壇精英)
-
專家經(jīng)驗: +1654 - MN-EPI: 2
- 應(yīng)助: 4105 (副教授)
- 貴賓: 0.053
- 金幣: 47526.7
- 散金: 4089
- 紅花: 503
- 帖子: 14997
- 在線: 7315.2小時
- 蟲號: 1111232
- 注冊: 2010-09-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 材料物理化學(xué)
- 管轄: 微米和納米
6樓2014-01-02 12:02:03
wl20098836
至尊木蟲 (文壇精英)
- 應(yīng)助: 49 (小學(xué)生)
- 金幣: 22287.1
- 散金: 17
- 紅花: 13
- 沙發(fā): 5130
- 帖子: 19754
- 在線: 2750.8小時
- 蟲號: 780314
- 注冊: 2009-05-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬功能材料
7樓2014-01-02 16:17:19
598878157
版主 (文學(xué)泰斗)
rky
- MN-EPI: 1
- 應(yīng)助: 369 (碩士)
- 貴賓: 3.087
- 金幣: 103254
- 散金: 301
- 紅花: 155
- 帖子: 58331
- 在線: 1147.3小時
- 蟲號: 614840
- 注冊: 2008-09-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 固體無機化學(xué)
- 管轄: 外語學(xué)習(xí)
9樓2014-01-02 19:21:52
10樓2014-01-04 08:01:05
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 houhualong 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿天大材料與化工（085600）總分338 +3 | 蔡大美女 2026-03-13 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[教師之家] 焦慮 +8 | 水冰月月野兔 2026-03-13 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 材料，紡織，生物（0856、0710），化學(xué)招生啦 +3 | Eember. 2026-03-17 | 9/450 |
|
|
|
[考博] 26博士申請 +3 | 1042136743 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
[考研] 考研化學(xué)學(xué)碩調(diào)劑，一志愿985 +4 | 張vvvv 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +4 | 是Lupa啊 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 有沒有道鐵/土木的想調(diào)劑南林，給自己招師弟中～ +3 | TqlXswl 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +4 | 小賈同學(xué)123 2026-03-15 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 0703一志愿211 285分求調(diào)劑 +5 | ly3471z 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 283求調(diào)劑 +10 | 小樓。 2026-03-12 | 14/700 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +6 | ytter 2026-03-12 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0856專碩279求調(diào)劑 +5 | 加油加油！? 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 085601材料工程315分求調(diào)劑 +3 | yang_0104 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +4 | z1z2z3879 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿哈工大材料324分求調(diào)劑 +5 | 閆旭東 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 學(xué)碩285求調(diào)劑 +13 | Wisjxn 2026-03-12 | 46/2300 |
|
|
|
[碩博家園] 085600 260分求調(diào)劑 +3 | 天空還下雨么 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 310求調(diào)劑 +3 | 【上上簽】 2026-03-11 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +4 | 芬達46 2026-03-12 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工 309分請求調(diào)劑 +7 | dtdxzxx 2026-03-12 | 8/400 |
|