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houhualong木蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射鍍金屬膜，SEM可以看到晶粒大小嗎，還是用AFM？ 已有13人參與
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| 如題，磁控濺射鍍金屬膜，SEM可以看到晶粒大小嗎，還是用AFM？我是在不同功率、不同氣壓下做的，想看看各個參數(shù)下的形貌有什么區(qū)別，估計低倍下受基體劃痕影響較大，想通過高倍看看晶粒大小有什么變化。不知有沒有這樣做的蟲友，傳授一下經(jīng)驗，O(∩_∩)O謝謝。 |
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fyl1989
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houhualong: 金幣+5, ★★★很有幫助 2014-01-07 17:02:05
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| 我們這兩種都做過，先說SEM吧（拿TiN薄膜為例），我們是直接在Si襯底上生長TiN,正如樓上有人所說，由于薄膜表面平坦度較好，所以可能導致SEM圖的Contrast較低，圖像分辨的不是很清楚，但還是可以看到的晶粒的，不過這要取決于薄膜的厚度和SEM的水平了。對于AFM，這個看表明的晶�；臼菦]有什么問題的（如果你只是為了看看不同條件對晶粒的影響），不過要想計算平均晶粒尺寸，還需要特定的軟件，我們在做金屬氧化物正交實驗時發(fā)現(xiàn)，功率是影響晶粒大小的關鍵因素，而壓強、靶基距、氣體流量對晶粒的影響不大，可以作為對薄膜淀積的參考（僅限參考），所以，你要想觀察晶粒尺寸的話，AFM和SEM都可用（推薦使用AFM），就看你AFM和SEM的水平了。PS：AFM和SEM在同樣比例尺下的圖可能觀察到的晶粒完全不同，這很正常，因為前者是利用探針和物體表面接觸反饋進行的成像，而后者是利用二次電子進行的成像，所以如果你想要進行比較，最好是在同一種表征手段下進行比較，否則可比性不大。希望對你有所幫助！ |
17樓2014-01-05 10:27:52
superpdy
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