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whitbear新蟲 (初入文壇)
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請問有做CD-SEM納米線寬測量方面實驗的嗎？或者比較了解CD-SEM儀器的 已有1人參與
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請問有做CD-SEM納米線寬測量方面實驗的嗎？或者比較了解CD-SEM儀器的，或者納米尺度測量方面的高手，有幾個問題想要咨詢 1、CD-SEM與SEM的主要區(qū)別 2、CD-SEM實驗中線寬確定的算法是什么呢？ 非常感謝 |
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yswyx 
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4樓2014-02-25 16:16:22
yswyx
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【答案】應(yīng)助回帖
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CD SEM和普通的SEM沒有本質(zhì)區(qū)別。 CD SEM是半導(dǎo)體工業(yè)中最常用的檢測手段，主要用來檢測光刻顯影后光刻膠的線寬，由此帶來了幾個和普通SEM的區(qū)別。 1. 可以直接觀測有機物的形貌尺寸。電子能量低，電荷累積效應(yīng)小。不需要對樣品進行噴金處理。 2. 真空腔室大。不同型號的設(shè)備，可以放置從4英寸到12英寸，甚至450mm直徑的wafer。 3. 自動化程度高�？筛鶕�(jù)已有標(biāo)記自動尋找測量位置，可根據(jù)已有算法自動計算線條寬度�？筛鶕�(jù)測量結(jié)果自動生成測量數(shù)據(jù)文件和圖表。 |
2樓2014-02-20 13:59:54
whitbear
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非常感謝， 還有點疑問，“可根據(jù)已有算法自動計算線條寬度”，能說說具體是什么算法嗎？是對線條二次電子強度分布圖線進行怎樣的處理，自動計算線條寬度的呢？再請問可有CD-SEM說明文件之類的，原理性或具體操作性的均可，非常感謝 3樓2014-02-20 17:03:44
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