 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 2 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 576 | 回復(fù): 1 | |||
[交流]
如何獲得平整度較高的不同后的的Si上SiO2層？ 已有1人參與
|
| 大家好，我需要200nm到600nm約20nm左右間隔的Si上SiO2薄膜，去找硅片廠商熱氧化是可以，但是每個厚度都需要獨立的氧化，而每個厚度需要的不多，所以成本很高。用磁控濺射可以，但是折射率會和熱氧化的不太一致，所以暫時不考慮。我準備用BOE，但是不知道平整度如何？請問大家關(guān)于BOE腐蝕方面有沒有什么建議？謝謝！ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
溫州大學2026年招生（化學、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負責_院士團隊_學生高自由度成長_擅長學生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有81人回復(fù)
-
溫州大學招收2026年入學博士研究生（化學、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團隊-每屆學生都優(yōu)秀-高自由度-團隊氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學院（學院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學分析化學招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有8人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- SiO2中Si-H鍵的FTIR吸收峰
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 請問用SiO2和Al反應(yīng)制得的Al2O3//Al-Si復(fù)合材料選哪一種金相腐蝕液
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 請問CVD法長石墨烯為什么不能長在SiO2/Si上？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 急求分子篩中Si/Al比與SiO2/Al2O3比的換算關(guān)系
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 問一個Cr作模板深刻蝕SiO2和Si的問題
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 石墨烯能否在Sio2或Si基體上用化學氣相沉積法長成？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 為什么CO2中的C是SP雜化，而SiO2中的Si是SP3雜化？
已經(jīng)有8人回復(fù)
- Pt/Ti/SiO2/Si襯底如何清洗
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 【求助】MS如何實現(xiàn)水分子與SiO2反應(yīng)的分子動力學模擬過程（想得到Si-OH鍵）？
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 【求助】如何清洗SiO2/Si片
已經(jīng)有5人回復(fù)
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗: +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體微納機電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
2樓2014-03-07 16:03:18
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 hnwhinder 的主題更新
| 2 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿華中農(nóng)業(yè)071010，總分320求調(diào)劑 +5 | 困困困困坤坤 2026-03-20 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 求調(diào)劑 +6 | 十三加油 2026-03-21 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +7 | 懷瑾握瑜l 2026-03-20 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 291 求調(diào)劑 +3 | 化工2026屆畢業(yè)?/a> 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 生物學一志愿985，分數(shù)349求調(diào)劑 +4 | zxts12 2026-03-21 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿華中科技大學071000，求調(diào)劑 +4 | 沿岸有貝殼6 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料與化工（0856）304求B區(qū)調(diào)劑 +3 | 邱gl 2026-03-20 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | 要好好無聊 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +4 | 某某某某位 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料學學碩080502 337求調(diào)劑-一志愿華中科技大學 +4 | 順順順mr 2026-03-18 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿山大07化學 332分 四六級已過 本科山東雙非 求調(diào)劑！ +3 | 不想理你 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料工程（專）一志愿985 初試335求調(diào)劑 +3 | hiloiy 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 二本跨考鄭大材料306英一數(shù)二 +3 | z1z2z3879 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿 西北大學 ，070300化學學碩，總分287，雙非一本，求調(diào)劑。 +3 | 晨昏線與星海 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料專業(yè)求調(diào)劑 +6 | hanamiko 2026-03-18 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 296求調(diào)劑 +6 | www_q 2026-03-18 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +3 | 阿姐阿姐家啊 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 295材料求調(diào)劑，一志愿武漢理工085601專碩 +5 | Charlieyq 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿西安交通大學 學碩 354求調(diào)劑211或者雙一流 +3 | 我想要讀研究生 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0854可跨調(diào)劑，一作一項核心論文五項專利，省、國級證書40+數(shù)一英一287 +8 | 小李0854 2026-03-16 | 8/400 |
|