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P3HT:PCBM木蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射時(shí)RF濺射起輝1到2分鐘就有很大的反饋功率，求解！ 已有2人參與
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| 新買的靶材，半導(dǎo)體摻雜類，用DC，50W，20min輝光一直有，陰極溫度正常，而用RF，150W，一到兩分鐘就有很大反饋，輝光還有，但陰極會(huì)升溫。用了0.3pa、0.5pa、1pa的氣壓都會(huì)出現(xiàn)這個(gè)問題。 靶材裝了銅基板，但在靶面邊緣處有一個(gè)被磕脫了1cm*0.5cm大小的薄片，1mm厚。把脫了的薄片放上面時(shí)還能吻合得較好。試過拿開薄片，還是不行。 請(qǐng)有經(jīng)驗(yàn)的朋友，幫忙分析一下~謝謝！ |
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 磁控濺射靶材資料大全 |
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2樓2014-03-07 08:57:08
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4樓2014-03-07 11:26:44
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5樓2014-03-08 12:54:24
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6樓2014-03-26 10:16:38
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