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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 金屬與半導體鍵合
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[求助]
金屬與半導體鍵合 已有1人參與
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| 求助，金屬與半導體鍵合，有木有一種利用物理力學的方法將一塊半導體晶圓貼到鉑金基板上的方法？具體是這樣的，我想將si襯底上長的AlN剝離下來，在把Aln貼到Pt金基板上去。想用一種比較簡便的力學方法把Aln壓到基板上去，不知道有沒有這種方法，需要用什么設備。 |
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3樓2014-03-15 17:16:49
2樓2014-03-15 08:54:37
4樓2014-03-16 07:55:54
5樓2014-03-17 19:51:20
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