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[求助]
金屬與半導(dǎo)體鍵合 已有1人參與
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| 求助，金屬與半導(dǎo)體鍵合，有木有一種利用物理力學(xué)的方法將一塊半導(dǎo)體晶圓貼到鉑金基板上的方法？具體是這樣的，我想將si襯底上長(zhǎng)的AlN剝離下來(lái)，在把Aln貼到Pt金基板上去。想用一種比較簡(jiǎn)便的力學(xué)方法把Aln壓到基板上去，不知道有沒(méi)有這種方法，需要用什么設(shè)備。 |
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