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toowowo銅蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
磁控濺射做薄膜摻雜，摻雜濃度特底，前來(lái)請(qǐng)教測(cè)試方法！ 已有2人參與
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磁控濺射做摻雜，把摻雜物混在靶材里濺射，由于做出來(lái)的薄膜里摻雜量為0.015%“原子數(shù)比”，xps都測(cè)不出來(lái)。所以特來(lái)請(qǐng)教什么測(cè)試手段可以解決我的問(wèn)題。薄膜襯底為石英，薄膜導(dǎo)電性能不好，薄膜厚度為0.3微米左右，無(wú)法剝落，請(qǐng)教了！ [ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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 磁控濺射靶材資料大全 | PVD鍍膜類(lèi)技術(shù)資料 |
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3樓2014-03-20 15:55:31
gao901127
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2樓2014-03-20 08:18:55
toowowo
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4樓2014-03-21 12:05:02
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5樓2014-03-31 17:41:48
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