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toowowo銅蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射做薄膜摻雜，摻雜濃度特底，前來請教測試方法！ 已有2人參與
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磁控濺射做摻雜，把摻雜物混在靶材里濺射，由于做出來的薄膜里摻雜量為0.015%“原子數(shù)比”，xps都測不出來。所以特來請教什么測試手段可以解決我的問題。薄膜襯底為石英，薄膜導電性能不好，薄膜厚度為0.3微米左右，無法剝落，請教了！ [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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 磁控濺射靶材資料大全 | PVD鍍膜類技術(shù)資料 |
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2樓2014-03-20 08:18:55
3樓2014-03-20 15:55:31
toowowo
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4樓2014-03-21 12:05:02
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