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toowowo銅蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射做薄膜摻雜，摻雜濃度特底，前來請(qǐng)教測(cè)試方法！ 已有2人參與
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磁控濺射做摻雜，把摻雜物混在靶材里濺射，由于做出來的薄膜里摻雜量為0.015%“原子數(shù)比”，xps都測(cè)不出來。所以特來請(qǐng)教什么測(cè)試手段可以解決我的問題。薄膜襯底為石英，薄膜導(dǎo)電性能不好，薄膜厚度為0.3微米左右，無法剝落，請(qǐng)教了！ [ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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 磁控濺射靶材資料大全 | PVD鍍膜類技術(shù)資料 |
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7樓2014-04-01 21:14:09
gao901127
金蟲 (小有名氣)
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2樓2014-03-20 08:18:55
3樓2014-03-20 15:55:31
toowowo
銅蟲 (正式寫手)
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4樓2014-03-21 12:05:02
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