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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 硅基金電極的刻蝕液選擇
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硅基金電極的刻蝕液選擇 已有1人參與
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我做了一個硅基鍍金片，用光刻將金電極圖案做出來了，采用KI+I2+H2O的刻蝕液將多余金去除，用萬用表測量后發(fā)現(xiàn)電極是導通的，可能是在金膜下面還有一層過渡金屬鉻或鈦，我現(xiàn)在已經(jīng)將光刻膠去除過了。 想問下： 1）去除鉻選擇什么刻蝕液，刻蝕速率如何控制？ 2）去除鈦選擇什么刻蝕液，速率能否控制？ 3）我刻蝕金后將光刻膠用丙酮去除了，現(xiàn)在刻蝕上面兩種金屬需要重新做光刻嗎？ |
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